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半导体/电子厂房洁净室的控制 根据半导体/电子行业的洁净控制要求来看,控制的主要污染源为环境含尘量,在洁净技术方面 净化型材净化板材,可采取三种综合性措施: 1、空气过滤 一般的洁净室空气处理系统采用三级处理过程。第一级——粗效过滤器...


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半导体/电子厂房洁净室的控制

根据半导体/电子行业的洁净控制要求来看,控制的主要污染源为环境含尘量,在洁净技术方面 净化型材净化板材,可采取三种综合性措施:

1、空气过滤

一般的洁净室空气处理系统采用三级处理过程。第一级——粗效过滤器,用于保护空调器不受污染;第二级——采用中效过滤器保护风管的洁净度;第三级——采用高效过滤器保证高质量的空气直接进入洁净室。

2、 采用适当的气流类型

气流类型一般有两类,一类为单向流,常称作层流;另外一类为为非单向流 净化型材铝合金,也称作紊流;可根据不同的需求 净化型材风淋室,进行不同的控制。

3、保证各室之间的压差

   一般来说,小于5Pa的压差是毫无意义的,因为难以阻止空气回流;压差大于20Pa(隔离工艺处外)是不合理的,因为并不能改善洁净室的特性,反而形成浪费,故而,压差在5~20 Pa范围内即可,不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区的压差应不小于5Pa,洁净区与室外的压差,应不小于10Pa,特殊要求除外。

   另外,通风空调系统在洁净室工作中起着关键的作用,决定着系统功能与是否与设计的生产相符合,具体设计应按具体情况在最小的投资和运行费用的前提下编制方案。所有的运行控制皆应按照上述四个方面进行。

济南兰桥净化工程有限公司

 



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