一、工艺布置合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室；
二、在满足生产工艺要求的前提下，四平净化厂房，空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房；空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置；靠近洁净区入口处宜布置空气洁净度等级较低的工作室；
精密设备、精密仪器仪表的隔振措施，应考虑减少发尘量、保持洁净室内合理的气流组织等要求。当采用空气弹簧隔振台座时，应对气温进行处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级。对洁净厂房内外各类振源，净化厂房施工，应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件限制，也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精密仪器仪表的允许环境振动值进行比较，以确定对其采取必要的田振措施。
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