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洁净室技术是空气悬浮粒子浓度受控的房间,它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。洁净室技术是通过各种设备将室内的风量、风速、压力、噪音、照度、温度、湿度、细菌浓度、特殊气体、纯水供应等参数控制在适宜范围内的一门多学科交叉技术。洁净室系统是包含所有相关构筑物、空气处理系统、动力和公用设施在内的洁净室或多个这样的洁净区。
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