微电子技术 电技术都离不开微电子技术。在微电子技术中,大规模和超大规模集成电路的应用,对化工提出了新的要求。例如超纯气体和纯水、电子工业用试剂、光刻胶、液晶以及腐蚀剂、掺杂剂、粘合剂等等。
微电子技术中使用的超纯气体有几十种,除氧、氢、氮、二氧化碳、氩等常见气体外,还有硼烷、三氯化硼、二氯硅烷、四氟化碳等自然界不存在的气体。所用化工产品的纯度对半导体成品的影响很大。使用工业气体时,成品率只有10%;使用含杂质小于10ppm的气体和相应的高纯化学试剂时,则成品率可提高到70%~80%。以用水而言,生产环氧氯丙烷,集成度为1Mb的集成电路,允许水中微粒的粒径不大于0.1μm 。为了制得接近理论的纯水,生产方法从蒸馏、离子交换发展到70年代的膜分离与离子交换相结合的方法,使纯水制备技术达到新的水平。
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