3.复合式(Mixed Type)：
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
(1)无尘车间洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，GMP车间净化，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，GMP车间净化，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：
A.弹性扩充容易；
B.维修设备时可在维修区轻易执行。
3、洁净服：为什么要穿洁净服装，因为洁净服是特殊工艺，GMP车间净化工程，是发菌量、发尘量最少的服装。
4、高效过滤器：对尘埃粒子≥0.3μm进行过滤，GMP车间净化检测，过滤级别在99.97%以上，气流阻力254Pa一下的过滤器。
5、工艺用水：生产工艺中使用的水，如：饮用水、纯化水、注射水等。
6、纯化水：以蒸馏、离子交换、反渗透方法获得的不含任何附加剂的水。
7、自净时间：洁净室被污染后，净化空调系统从开始到恢复室内规定洁净度的时间。
8、洁净验证：用设备等检测，达到预期效果的有效文件证明一系列的活动。
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