3.复合式(Mixed Type)：
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，GMP车间净化，可提供局部超洁净之空气。
(1)无尘车间洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，GMP车间净化，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：
A.弹性扩充容易；
B.维修设备时可在维修区轻易执行。
GMP洁净厂房净化参数：
换气次数：100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差：主车间对相邻房间≥5Pa 平均风速：10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃。温度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。
GMP车间净化_百信净化_GMP车间净化由山东百信空气净化工程有限公司提供。山东百信空气净化工程有限公司（www.bxclear.com）是山东 济南 ,工程施工的翘楚，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，最大限度的满足客户需求。在山东百信净化领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创山东百信净化更加美好的未来。
