清洁要求
（1）清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布； （2）用90%去离子水和10%的异丙醇配置清洁剂； （3）使用已获批准的洁净室专用去污剂；
（4）每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。
（5）每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。
（6）清洁洁净室的地面应使用专用拖把。
（7）在洁净室里吸尘应使用带有高效过滤器的专用真空吸尘器。 （8）所有的门都需要检查并擦干
（9）吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。 （10）架空地板下也要吸尘及擦拭。
（11）三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
（12）工作时一定要记住，永远是由上往下擦，滁州净化车间，从离门最远的地方向门的方向擦。
各行业对无尘车间空气洁净度的要求
洁净技术已广泛应用于各行各业的产品生产或其他要求防止粒子污染、微生物污染的环境控制，由于各行各业的产品特性不同、各种产品的生产工艺不相同，使用要求不同，因此要求控制环境的内容、指标均不会相同。所谓无尘车间的环境控制的内容应该包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。所以无尘车间的设计不仅要求对室内的空气进行净化达到规定的空气洁净度等级，净化车间设计，还必须防止因无尘车间的建造用材料、装饰方式不当带来的污染，有的无尘车间还要求供给超纯水、超纯气体和高纯的化学品等。
1、半导体集成电路要求的空气洁净度等级
集成电路生产环境要求的空气洁净度等级主要取决于集成电路的集成度，不同工序的空气洁净度等级是依据可能污染的概率和对器件的潜在故障确定的。
举例说明：
例一、某厂集成电路前工序洁净厂房，无尘车间设计按加工、生产6英寸硅片、1M集成电路，图形特形尺雨1.0um，控制粒子粒径0..1um.
无尘车间空气洁净度等级要求：
光刻、匀胶区 ISO 3级
离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区 ISO 3级
离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等维修区 ISO 5级
例二、某厂集成电路前工序洁净厂房，无尘车间设计按加工、生产5英寸硅片、256K集成电路、图形特形尺雨2.0um，控制粒子粒径0.2um.
无尘车间空气洁净度等级要求：
光刻、匀胶区 ISO 3级
离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区 ISO 4级
作为净化间的分类方法，一般都是根据室内气流形状来划分的。按这个方法，净化间可大致分为如下三大类。 1， 垂直层流型（降下流方式） 这是一种将HEPA或ULPA过滤器安装在天花板上，从顶板上往下直对地面，能以同样的速度向净化间提供洁净空气的方式。这种设备体积庞大，造价也很昂贵，但作为净化间的性能，无论是从什么方面讲，它都是很好的。 2， 水平层流型（交叉流方式） 这是将HEPA或ULPA过滤器安装在壁板上，从墙壁上向对面墙壁以同样的速度提供洁净空气的一种方式。由于是水平层流，所以，与气流的上流侧相比，下流侧的洁净程度要低一些。但它与垂直层流方式相比的话，具有设备较小，费用较低的特点。 3， 非层流型（常规型） 与上述几种层流形式相比，其设备费用要低廉很多，但由于出现了非层流部分，室 内气流发生紊乱，微粒子浮游在空中，很难保证高的洁净度。
1、 检测仪器的选用 尽管对净化车间内的洁净度的测量，可以采用净化工程光散射粒子计数器、凝结核粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜，但目前用得最多的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应测量，并且可以直接显示瞬时的含尘浓度，也可以对不同粒径的含尘浓度进行测量，净化车间规范，使用简单、方便、及时、灵活。计数器大体上可分这两种类型：一种是照射系统光轴与检测系统光轴交叉布置的侧向散射型;另一种是两光轴布置在同一直线上的前向散射型。
2、 净化车间洁净度检测时，使用光散射粒子计数器的取样量 关于尘埃粒子计数器检测时的空气取样量，在国标GBJ73-84中规定：对于100级的净化车间，每次取样量应大于或等于1L，对于1000~10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0.3L，对于10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0.1L。 对于100级净化车间，宜采用大流量粒子计数器进行测试。如果不具备，也应采用每次采样量不小于1L的粒子计数器。 在对净化车间进行洁净度检测时，尽管规定了空气的采样量，但在实际工作中，我们应在保证采样量前提条件下，根据已有的检测设备，尽量采用大流量的尘埃粒子计数器。
3、 检测点的布置 根据中华人民共和国国家标准GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规定：在对净化车间进行洁净度检测时，检测点应为距室内地坪1.00m的水平面内;对于单向流型净化车间测点总数应不小于20点，测点间距为0.5-2.0m。水平单向流测点仅布置在净化车间工作区内;非单向流净化车间按净化车间面积小于或等于50m2布置5个测点。
4、 关于等动力采样的问题 所谓等动力采样就是在检测时，粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致，而且空气进入取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同。
因为对净化工程的检测我们主要关心两种粒径，即0.5um和5um。非等动力采样对于≤0.5um的粒子影响不大。如果取样空气用于计算大于或等于 0.5um的粒径浓度，如果这些粒子不受非等动力条件的影响，则计算结果也不受影响。因此，净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有意义。
净化间的级别一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同，形成必要的级别是不一样的。例如，在半导体制造工厂等里边，根据作业内容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的净化间。而且，在制药工厂里，根据产品的纯度、作业工序，净化车间等级，需有从M3.5到M6.5（100，000）范围广泛的级别不等净化间。因此说，各种产业所需要的净化间，其要求的洁净度是不同的。
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