清洁要求
（1）清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布； （2）用90%去离子水和10%的异丙醇配置清洁剂； （3）使用已获批准的洁净室专用去污剂；
（4）每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。
（5）每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。
（6）清洁洁净室的地面应使用专用拖把。
（7）在洁净室里吸尘应使用带有高效过滤器的专用真空吸尘器。 （8）所有的门都需要检查并擦干
（9）吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。 （10）架空地板下也要吸尘及擦拭。
（11）三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
（12）工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门最远的地方向门的方向擦。
各行业对无尘车间空气洁净度的要求
洁净技术已广泛应用于各行各业的产品生产或其他要求防止粒子污染、微生物污染的环境控制，由于各行各业的产品特性不同、各种产品的生产工艺不相同，使用要求不同，因此要求控制环境的内容、指标均不会相同。所谓无尘车间的环境控制的内容应该包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。所以无尘车间的设计不仅要求对室内的空气进行净化达到规定的空气洁净度等级，还必须防止因无尘车间的建造用材料、装饰方式不当带来的污染，有的无尘车间还要求供给超纯水、超纯气体和高纯的化学品等。
1、半导体集成电路要求的空气洁净度等级
集成电路生产环境要求的空气洁净度等级主要取决于集成电路的集成度，净化车间，不同工序的空气洁净度等级是依据可能污染的概率和对器件的潜在故障确定的。
举例说明：
例一、某厂集成电路前工序洁净厂房，无尘车间设计按加工、生产6英寸硅片、1M集成电路，图形特形尺雨1.0um，控制粒子粒径0..1um.
无尘车间空气洁净度等级要求：
光刻、匀胶区 ISO 3级
离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区 ISO 3级
离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等维修区 ISO 5级
例二、某厂集成电路前工序洁净厂房，净化车间施工服务，无尘车间设计按加工、生产5英寸硅片、256K集成电路、图形特形尺雨2.0um，控制粒子粒径0.2um.
无尘车间空气洁净度等级要求：
光刻、匀胶区 ISO 3级
离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区 ISO 4级
发达国家，净化工程广泛应用于医院、实验室、工厂、学校、变电室、计算机机房。某些对环境有较高要求的住宅也有应用。在中国，由于现代化步伐加快，国内三甲医院手术室普遍安装净化设备。千级净化手术室，对于脑部外科手术十分必要。以前不敢做或不能做的手术，由于有了较高的净化环境，现在国内许多医院都可以做了。在电子工厂，由于有了较高的净化环境，可以在很小的体积上，集成几千万个电子元器件。我们常用的手机等电子产品，就必须有良好的净化环境才能生产。才会愈做愈精、功能愈做愈大。在净化环境下，我们的计算机房，不会因为灰尘产生故障。在实验室，我们的实验不会受到灰尘的干扰。在工厂，我们可以生产出保质期很长的放心食品。净化环境的广泛应用，造福社会、造福人类。
净化标准：
净化工程普遍采用美国联邦209标准。具体分为十万级、万级、千级、百级、十级、一级。万级应用最普遍。在百级净化环境下，可满足国内最尖端的实验要求，可以生产精密电子元器件，可以做复杂的开颅手术。但施工难度较大，造价较高。我们以千级净化室为例，谈一下施工方法和具体工艺设计要求。
净化管道要求；
净化室根据用途决定净化等级，根据需要调节净化室温度、湿度、换气次数。温度可由不锈钢管道调节，也可用净化室专用空调调节。湿度根据具体工艺要求，采用专用设备调节。根据不同的净化要求，我们采用的施工材料、施工工艺都有所不同。千级净化室，必须采用不锈钢钢板做保温隔离。钢板接缝处不能有轻微的变形。千级净化室的隔离钢板，目前需到北京、上海等地采购。净化管道可采用不锈钢管道，镀锌管道。管道外部要做保温处理。管道施工前，管道内部洁净处理十分重要，不能等到全部管道安装完毕在做洁净处理。这是施工关键所在。很多工程无法验收合格于此相关，应特别注意。管道的设计与净化室的大小相关，与送风量大小相关，与净化要求相关。净化空调的大小，风量大小，在具体的施工过程中根据需要调节。由于环境不同，地理位置不同，施工工艺也不同。要根据实际要求设计。例如：同样是900平方米净化厂房，里面有50个工人和100个工人就需调整通风管道设计。设计时要综合考虑。根据经验，具体环境，调整设计。
净化过滤要求；
通风管道一般采用三级过滤，即普通过滤装置、中效过滤装置、高效过滤装置。过滤器的质量好坏，需要重点把关。质量不好的过滤器，用的时间短，过滤效果不好。特别是风阻过大，导致出风量小。据我调查，千级净化室高效过滤器，需到上海采购。通风管道的链接部位，要用质量好的密封圈。用密封胶来弥补密封圈的质量问题，湖南净化车间，时间稍长一些，管道密封就会出问题，净化车间级别，解决起来非常麻烦。会造成意想不到损失。送风管道质量出了问题，等于全部工程推倒重来。净化工程质量出问题，大部分是管道安装出现问题，重新打密封胶，只能暂时解决问题。有的使用单位高效过滤器更换频繁，一般都是送风管道出现毛病，所以安装净化管道必须精心。工程监理一分钟都不可离开。 净化风机选用；
净化室根据使用时间决定风机安装数量。如果每天使用24小时，至少应安装两个以上风机。如果每天使用八小时，安装两个风机以下即可。如果间断使用，安装一个风机即可。风机的型号、大小、根据净化室面积决定。
风淋室安装；
风淋室相当于净化室的道屏障，具体型号由单位时间通过的人数决定。风淋室安装时，各接缝处应严格密封。道屏障出了问题，后续有在多屏障保护也不行。道防线决不可出一丝一毫问题，安装时务必小心。
净化室玻璃窗也是施工难点，容易出现问题，需特别注意。一般采用双层真空玻璃。安装时周边用优质密封胶封牢，玻璃窗安在密封槽里。
净化室天棚要求
净化室天棚距顶棚有一定高度。一般高度为1.8米左右，便于检修，便于安装照明设备。净化室天棚，是净化室安装工程量的部分，也是最难施工部分。无论多大的净化室天棚，安装完毕看上去应为一个整体，看不出有接缝，水平高度一致。天棚必须吊装牢固，不能由于温度变化产生移动，净化室多数情况下为正气压，即室内气压高于室外气压。这对于面积较大的净化室天棚会产生一定的压力，使棚顶出现微小缝隙，影响净化效果。要解决这个问题，在施工时，棚顶所有接缝周边必须用密封胶处理好。密封胶必须使用防霉变密封胶。
选用优质材料是工程关键：
我们的神舟飞船总费用约三百亿左右，飞船的每个零部件都比一般零部件贵几百倍，上千倍。净化室也是相同道理，成败的关键是所用原料设备必须优中选优。任何一点微小的疏忽，都会导致全部工程失效。建筑工程，一般在外表就能判断工程质量，微小细节对整体工程质量影响不大，且容易补救。净化工程则不同，从设计开始，到原料采购、设备安装、具体施工，任何一个环节不允许出一点点问题。稍不小心，一个微小的错误，都会导致无法达到设计要求。精心设计、精心施工、精心准备、优质材料、优质设备，是合格净化室的必备条件。
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