清洁要求
（1）清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布； （2）用90%去离子水和10%的异丙醇配置清洁剂； （3）使用已获批准的洁净室专用去污剂；
（4）每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。
（5）每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。
（6）清洁洁净室的地面应使用专用拖把。
（7）在洁净室里吸尘应使用带有高效过滤器的专用真空吸尘器。 （8）所有的门都需要检查并擦干
（9）吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。 （10）架空地板下也要吸尘及擦拭。
（11）三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
（12）工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门最远的地方向门的方向擦。
各行业对无尘车间空气洁净度的要求
洁净技术已广泛应用于各行各业的产品生产或其他要求防止粒子污染、微生物污染的环境控制，由于各行各业的产品特性不同、各种产品的生产工艺不相同，使用要求不同，因此要求控制环境的内容、指标均不会相同。所谓无尘车间的环境控制的内容应该包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。所以无尘车间的设计不仅要求对室内的空气进行净化达到规定的空气洁净度等级，还必须防止因无尘车间的建造用材料、装饰方式不当带来的污染，有的无尘车间还要求供给超纯水、超纯气体和高纯的化学品等。
1、半导体集成电路要求的空气洁净度等级
集成电路生产环境要求的空气洁净度等级主要取决于集成电路的集成度，不同工序的空气洁净度等级是依据可能污染的概率和对器件的潜在故障确定的。
举例说明：
例一、某厂集成电路前工序洁净厂房，无尘车间设计按加工、生产6英寸硅片、1M集成电路，图形特形尺雨1.0um，控制粒子粒径0..1um.
无尘车间空气洁净度等级要求：
光刻、匀胶区 ISO 3级
离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区 ISO 3级
离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等维修区 ISO 5级
例二、某厂集成电路前工序洁净厂房，无尘车间设计按加工、生产5英寸硅片、256K集成电路、图形特形尺雨2.0um，控制粒子粒径0.2um.
无尘车间空气洁净度等级要求：
光刻、匀胶区 ISO 3级
离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区 ISO 4级
车间净化 - 结构材料
1.净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造
2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，宣城净化车间，有防静电要求的，可选用防静电型。
3.送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4.高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，净化车间设计，不生锈不粘尘，宜清洁
车间净化 - 净化参数
换气次数：100000级≥15次；10000级≥20次；1000≥30次。压差：主车间对相邻房间≥5Pa平均风速：10级、100级0.3－0.5m/s；温度 冬季>16℃；夏季 <26℃；波动±2℃。 温度45－65%；GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜；电子车间湿度略高以免产生静电。 噪声≤65dB（A）；新风补充量是总送风量的10%－30%；照度300LX
车间净化 - 净化设备
净化设备可使用油雾分离器，油雾净化器，油雾处理器，油雾收集器，油雾过滤器、袋式除尘器、无尘工作台、初效/中/高效过滤器、除菌过滤器、水蒸发空调机、水温空调等。大致的工作原理为：当控制器接通电源时，油雾分离器口产生强大的静压迫使油雾被定向吸入油雾分离器内。在油雾分离器内风轮的作用下发生碰撞，使微小的颗粒集合成能被控制的小颗粒，在高效吸雾材料的阻挡下实现空气与水的分离。
一次过滤液相捕获： 旋转式螺旋过滤器，将吸入的介质中的固体颗粒首先拦截下来。
* 通过对较大固体、粉尘颗粒在前段进行彻底的拦截，大大地减轻了后端多级过滤的压力。二次过滤气相拦截：高压碰撞离心分离拦截液相雾气。
* 高压碰撞技术：气溶胶 粒子被粗效过滤件收集，细小的颗粒有逐级滤材完成。
* 离心分离拦截液相雾 气：在气流中由不同的工作件定向收集介质对象，不同的介质选用合适的过滤结构和材质。
* 个性滤网拦截气溶胶粒子：在气流结构方面改良固有结构减少阻力提高效率。各风道口表面选用美国杜邦公司生产的F4进行处理，使机器过滤精度高寿命长。
三次过滤真空吸雾：
* 含有细小粉尘的各油雾经第三级分离被收集后，经后置活性炭过滤器能有效祛除异味和有害气体，洁净空气在风机负压的作用下，经风机直接排入空气中。
无锡博迪生产油雾净化设备，它是专业解决机床在加工过程中产生油雾、水雾或烟尘颗粒等环境问题的专业设备。能提高加工工件精度，延长设备使用寿命，并且能改善工作环境，保护工作人员身体健康。
车间净化 - 空气净化方式
物理式净化方式
1.吸附性过滤—活性炭 活性炭是一种多孔性的含炭物质， 它具有高度发达的孔隙构造， 活性炭的多孔结构为其提供了大量的表面积，能与气体（杂质）充分接触，从而赋予了活性炭所特有的吸附性能，使其非常容易达到吸收收集杂质的目的。就象磁力一样，所有的分子之间都具有相互引力 缺点：普通活性炭并不能吸附所以的有毒气体，效率较低、易脱附。
2.机械性过滤—HEPA网 HEPA(High efficiency particulate air Filter)，中文意思为高效空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成，形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。
静电净化方式
工作原理：采用高压静电吸附除尘工作原理。静电式是采用高压静电吸附除尘的工作原理。静电场中的阴极线在高压静电的作用下，产生电晕放电，净化车间规范，电晕层中产生大量的负离子，负离子在静电场的作用下，不断地向阳极运动。当空气中粉尘通过电场时，粉尘受到负离子的碰撞带上电荷，带上电荷后的粉尘同样受到静电场的作用，向阳极（集尘极）运动，到达阳极后释放电荷。 缺点：可去除飘尘（不能去除毒害气体），效能比机械式低、慢，而且易产生臭氧，此机型被美国市场评为最差净化器。
其他净化方式
水洗法
车间净化 - 应用范围
公共场所、商场、车站、体育场，歌舞厅，会议室，学校，饭店、食堂、网吧等；工厂、车间、纺织、印染、服装、塑胶、玻璃、皮草、铸造、五金、印刷、电子、化工化纤生产，净化车间要求，食品生产，烘焙车间，餐具消毒烘干车间等。
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