温湿度要求无尘车间空气温湿度的要求由以下综合确定:
(1)对人的舒适性,以人穿着不同洁净服情况下充分发挥工作效率,一般温度以21OC~24OC较适宜,若洁净服要求严,则20OC~22OC,净化工程检测,波动<1.5OC,湿度30%~70%;(2)工艺的要求;(3)经济性,温湿度及相对湿度夏天越低,无菌净化工程,冬天越高,则空气处理能耗越大。当前微电子工厂无尘车间对温湿度的参数大致范围是:温度为24OC+/-1~2OC,要求严的为22OC+/-0.3~0.5OC。湿度为45%+/-5%~10%,要求严的为43%+/-3%。要求全年维持。
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