温湿度要求无尘车间空气温湿度的要求由以下综合确定：
（1）对人的舒适性，以人穿着不同洁净服情况下充分发挥工作效率，一般温度以21OC~24OC较适宜，临汾净化工程，若洁净服要求严，则20OC~22OC，波动＜1.5OC，湿度30%~70%；（2）工艺的要求；（3）经济性，净化工程品牌，温湿度及相对湿度夏天越低，冬天越高，则空气处理能耗越大。当前微电子工厂无尘车间对温湿度的参数大致范围是：温度为24OC+/-1~2OC，要求严的为22OC+/-0.3~0.5OC。湿度为45%+/-5%~10%，要求严的为43%+/-3%。要求全年维持。
此方式的缺点是设置循环风机箱及处理噪声，净化工程检测，需要较大的空间，而通常百级区周围风管都比较密集，净化工程预算，需要精心布局。此方式百级区上部静压箱相对百级区室内为正压，顶棚高效过滤器与吊架间的渗漏，为静压箱流向室内，直接影响百级区洁净度。对施工质量要求较高。
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