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根据送气方式不同,净化技术可分为紊流系统和层流系统两种。(1)紊流系统(Multi-Directional Manner):紊流系统的送风口及高效过滤器设于顶棚,回风口设于两侧或一侧墙面下部,过滤器和空气处理比较简单,扩建方便,朔州无菌手术室,造价较低,但换气次数少,无菌手术室公司,一般为10~50次/h,容易产生涡流,无菌手术室施工,污染粒子可能在室内涡流区悬浮循环流动,形成污染气流,降低室内净化度。只适用于NASA标准中 10 000~1000 000级的净化室。(2)层流系统(Laminal Flow System);层流系统利用分布均匀和流速适当的气流,将微粒、尘埃通过回风口带出手术室,不产生涡流,故没有浮动的尘埃,净化度随换气次数的增加而提高,适用于美国宇航局标准中100级的手术室。但过滤器密封破损率比较大,且造价较高。
洁净厂房是我国的耗能大户之一。据不完全统计,洁净室的能耗是一般写字楼的10-30倍。我国的8英寸芯片厂,洁净室单位面积能耗比美国同类型工厂高15%(美国耗能1.28kW/m2-1.63kW/m2,而中国耗能1.48kW/m2-1.93kW/m2)。以上海某知名芯片厂为例,其全年耗电量的51%是用于洁净室运行的维护,如果将这51%的能耗合理降低,对企业来说就意味着利润的增长。
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